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MOCVD生长温度对氧化锌薄膜结构及发光性能的影响

王振华 , 杨安丽 , 刘祥林 , 魏鸿源 , 焦春美 , 朱勤生 , 杨少延 , 王占国

人工晶体学报

利用甲醇做氧源,采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺在硅(111)衬底上生长了一系列的氧化锌薄膜,生长温度为400~600 ℃.薄膜的表面形貌及晶体质量分别利用场发射扫描电镜及X射线衍射仪进行了测量.研究表明:随着生长温度的降低,在X射线衍射图谱中氧化锌(101)峰取代了(002)峰成为了主峰.这可能是由于温度过低使得甲醇未完全分解,而甲醇分子抑制了氧化锌沿c轴极性过快的生长所致.室温光致发光光谱结果表明在较高生长温度下获得的样品具有良好的光学性质,发光强度随着温度的降低而降低.

关键词: ZnO , 甲醇 , MOCVD , 生长温度

在二氧化钛修饰的基体上生长氧化锌纳米棒阵列的研究

杨安丽 , 崔作林

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01092

以硝酸锌和六亚甲基四胺为主要原料, 采用简单、低温的水热法在预先用金红石二氧化钛薄膜修饰过的硅基体上生长了高取向性的ZnO纳米棒阵列. 运用扫描电子显微镜 (SEM), 透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射(XRD)对产物的结构和形貌进行了表征. 并且讨论了溶液?浓度对ZnO形貌的影响. 测试结果表明, 在0.025mol/L的Zn(NO3)2·6H2O和C6H12N4水溶液中70℃反应4h后的ZnO纳米棒的平均直?径为100nm,平均长度为1μm, 属于六方纤锌矿结构且沿c轴择优取向生长. 并且对制备出的ZnO纳米棒阵列薄膜进行了室温下的荧光测试, 发现 ZnO纳米棒阵列膜在389nm处具有很强的紫外发射峰, 在466nm处有一个比较弱的发射峰.

关键词: ZnO纳米棒阵列 , TiO2 films , hydrothermal

载气流量对氧化锌纳米棒阵列的影响

蔡芳芳 , 魏鸿源 , 范海波 , 杨安丽 , 张攀峰 , 刘祥林

人工晶体学报

本文研究了在金属有机化学气相沉积法(MOCVD)生长过程中,锌(Zn)源和氧(O)源载气流量的改变对ZnO纳米棒阵列的影响.通过改变源材料载气的流量,得到了直径从150 nm到20 nm范围、均一性明显改善的ZnO纳米棒.采用扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射图谱(XRD),拉曼光谱(Raman)和光致荧光光谱(PL)等测试手段对样品的形貌结构和光学特性进行了表征.SEM和XRD结果表明当Zn源和O源的载气流量均为1 SLM时,所得的纳米棒直径最均匀,排列整齐,垂直于衬底生长,且结晶度最好.PL谱显示纳米棒的紫外带边峰发生了蓝移,可能与表面效应的增加有关.

关键词: 氧化锌纳米棒 , MOCVD , 载气流量 , 形貌

在二氧化钛修饰的基体上生长氧化锌纳米棒阵列的研究

杨安丽 , 崔作林

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.05.011

以硝酸锌和六亚甲基四胺为主要原料,采用简单、低温的水热法在预先用金红石二氧化钛薄膜修饰过的硅基体上生长了高取向性的ZnO纳米棒阵列.运用扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射(XRD)对产物的结构和形貌进行了表征.并且讨论了溶液浓度对ZnO形貌的影响.测试结果表明,在0.025mol/L的Zn(NO3)2·6H2O和C6H12N4水溶液中70℃反应4h后的ZnO纳米棒的平均直径为100nm,平均长度为1μm,属于六方纤锌矿结构且沿c轴择优取向生长.并且对制备出的ZnO纳米棒阵列薄膜进行了室温下的荧光测试,发现ZnO纳米棒阵列膜在389nm处具有很强的紫外发射峰,在466nm处有一个比较弱的发射峰.

关键词: ZnO纳米棒阵列 , TiO2薄膜 , 水热法

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