欢迎登录材料期刊网
孙伟 , 宫秀敏 , 叶卫平 , 张覃轶 , 杨守银
材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.09.027
多弧离子镀TiN涂层有着广泛的应用,但拉应力的存在影响了它的使用性能.本文对影响涂层拉应力的因素及产生原因进行了分析,并从基体材料的沉积工艺等方面提出了一些减小拉应力、提高涂层使用性能的方法.
关键词: TiN涂层 , 多弧离子镀 , 拉应力
