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TiO2薄膜的光电性能及应用

王武育 , 王溪晶 , 杨太礼

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2008.06.021

TiO2是高折射率(n=2.7)、大介电常数(ε=114)和半导体微电子结构特点.它的薄膜(d<μm时)是具有光学宽透明波限的优异光电子基质材料.在概述TiO2薄膜制备工艺过程及其对TiO2镀膜材料技术要求的基础上,有针对性地分析了薄膜的光电作用机制,重点介绍TiO2薄膜的光电特性及其在民用和高技术领域的具体应用情况,如光反射、光增透、光吸收、太阳能电池、太阳能集热、半导体介电性能等.

关键词: TiO2薄膜 , 光电应用