张锦文
,
杨化冰
,
蒋巍
,
王龙
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.06.013
本文研究报道了Pyrex7740玻璃湿法腐蚀通孔技术.将四寸硅玻璃键合圆片的玻璃衬底减薄,并在玻璃上分别制备PECVD SiC、W/Au和PECVD多晶硅三种不同掩膜及其开口,最终利用40％ HF腐蚀实现玻璃通孔.整个工艺过程与IC工艺兼容,并可进行圆片级批量加工.观察并研究纵向和横向腐蚀过程和通孔形貌,对比三种不同腐蚀掩膜掩蔽效果.本文研究结果为圆片级密封封装及其它MEMS器件奠定了基础.
关键词:
Pyrex7740玻璃
,
湿法腐蚀
,
深宽比
,
腐蚀掩膜
王海超
,
杨化冰
,
刘桂亮
,
孙谦谦
,
刘相法
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.20.018
研究了 Al-5Ti-0.25C细化剂对2024铝合金铸态显微组织及力学性能的影响。试验结果表明：未添加细化剂时,2024铝合金显微组织呈粗大的枝晶状,平均尺寸约为150μm；添加 Al-5Ti-0.25C 后,晶粒为细小的等轴晶。本试验条件下,最佳的细化剂添加量为0.3%,此时,2024铝合金的平均晶粒尺寸为56μm,其力学性能得到显著提高,抗拉强度和延伸率分别为382 MPa、2.60%,与未细化试样相比增幅分别为12.4%、69.9%。
关键词:
Al-5Ti-0.25C细化剂
,
2024 铝合金
,
晶粒细化
,
力学性能
张国君
,
武玉英
,
杨化冰
,
刘桂亮
,
孙谦谦
,
刘相法
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2016.000687
通过场发射扫描电子显微镜(FESEM),X射线衍射仪(XRD),能量色谱仪(EDS)分析Al-5Ti-1B,Al-4Ti-1C和Al-5Ti-0.8B-0.2C中间合金的微观组织与物相组成,比较研究3种中间合金对7050铝合金晶粒尺寸与力学性能的影响.结果表明:Zr的存在削弱了Al-5Ti-1B和Al-4Ti-1C中间合金的细化效果,而对Al-5Ti-0.8B-0.2C中间合金细化效果影响较小.含掺杂型TiC粒子的Al-5Ti-0.8B-0.2C中间合金具有较好的抗Zr"中毒"能力,加入量为0.2%(质量分数,下同)时,含Zr7050铝合金平均晶粒尺寸由200μm细化至(60±5)μm,室温极限抗拉强度由405MPa提高到515MPa,提高了27.2%,伸长率由2.1%提高到4.1%.而加入0.2%的Al-5Ti-1B或Al-4Ti-1C中间合金时晶粒尺寸较粗大且分布不均匀,表现出明显的细化"中毒".
关键词:
7050铝合金
,
晶粒细化
,
Zr"中毒"
,
Al-Ti-B-C中间合金
,
力学性能
