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检索条件:作者=束天和  

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DRF-B80型蓝宝石晶体生长炉的研制

袁长路 , 李杰 , 于旭东 , 束天和 , 汤平 , 程绪高 , 周伟 , 李留臣

人工晶体学报

本文主要介绍采用冷心放肩微量提拉法技术生长高质量大尺寸蓝宝石晶体的新型设备,由于晶体生长是在高温、高真空、籽晶升降与旋转平稳、晶体测重精准、功率稳定的状态下进行生长.所以我们配备了具有高冷却性能的腔体部件;大抽速,低反油率的高真空系统;无抖动、无爬行籽晶轴(俗称:籽晶热交换器)升降及旋转系统;高精度...

关键词: 蓝宝石 , 称重系统 , KY泡生法 , 晶体生长炉