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超支化聚酯微光学光致抗蚀剂

冯宗财 , 赵凌 , 王跃川 , 杜春雷

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2006.07.014

由链末端含有-COOH、-OH和丙烯酰氧基的超支化聚合物、多官能丙烯酸酯和光引发剂三组分组成光致抗蚀剂. 在玻璃片上成膜后硬度可达到HB～H的铅笔硬度. 抗蚀剂膜用混合UV光源曝光和四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液显影可获得E0约为5.5×10-3 J/cm2的灵敏度和γ约为8的高反差. 其曝光的灵敏度和反差γ可由显影液和光引发剂调节. 并且显示出刻蚀深度随曝光能量呈现线性变化的关系. 此特性使得该类抗蚀剂可用于微光学元件加工,并可对其表面形状进行控制. 使用该类抗蚀剂,通过移动掩膜曝光制备了200 μm×200 μm的微透镜阵列.

关键词: 超支化聚合物 , 光致抗蚀剂 , 微透镜阵列

钛微弧氧化膜层的生长过程与孔隙结构研究

付涛 , 慕伟意 , 杜春雷

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2008.06.005

钛箔在磷酸盐溶液中的微弧氧化过程可分为4个阶段,得到的二氧化钛膜层为锐钛矿相结构,所含的磷元素高于钠元素.膜层厚度在微弧阶段增加较快,前30 min的平均成膜速率约为0.32 mm/min,而在局部弧光阶段成膜速率下降.膜层的孔隙率(在12%~16%之间)和孔径均随时间延长而增加,但30 min后增加减缓.采用金相软件分析微弧氧化膜层的扫描电镜照片可以简便地确定其孔隙率.

关键词: 微弧氧化 , 钛 , 孔隙率

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