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镶嵌于基质中硅纳米晶的微观结构及其发光机制研究进展

丁艳华 , 杜庆田 , 王乙潜 ,

材料科学与工程学报

硅纳米晶材料显示出许多集成器件所需的性能,已倍受人们的关注,成为国内外研究的热点.本文对利用不同方法制备的硅纳米晶的微观结构进行了综述,并对两种不同的发光机制进行了概述.人们在硅纳米晶的制备和表征方面取得了较大的进展,但对硅纳米晶的发光机制还未完全了解,有待进一步的研究.

关键词: 硅纳米晶 , 微观结构 , 发光机理

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