马会中
,
张兰
,
张俊杰
,
杜云海
,
姚宁
,
张兵临
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.04.002
利用脉冲激光烧蚀技术在硅衬底上制备了类石墨薄膜,以该薄膜为阴极进行了场致电子发射实验.当在阴阳极之间加电场后,两极之间出现了放电现象.放电之后,类石墨薄膜的阈值电场大大降低了.当电场为20 V/μm时,该薄膜的发射点密度可以达到105/cm2.利用Raman光谱、扫描电镜和X射线光电子谱对薄膜的表面形貌和微结构进行了测试.薄膜中的类石墨微结构对该薄膜的场致电子发射特性起了促进作用.场致电子发射实验显示类石墨薄膜作为冷阴极电子材料具有潜在的应用价值.
关键词:
场致电子发射
,
类石墨薄膜
,
聚酰亚胺
,
激光烧蚀
