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ZAO/metal/ZAO多层膜光学性能优化设计

李镇涛 , 王振家 , 赵大庆

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2004.04.006

为获得高质量的透明导电薄膜,采用计算机辅助,对ZAO/metal/ZAO多层膜系统进行最优化设计.应用基于薄膜特性矩阵的分析方法,计算包含吸收膜的多层膜系的光学特性,并以整个膜系在可见光区内的光透射系数作为最优化设计的准则.根据优化结果,以磁控溅射方法在玻璃基片上逐次溅射ZAO,metal,ZAO薄...

关键词: 最优化设计 , 光透射系数 , 透光率