欢迎登录材料期刊网
郭建东 , 李银安 , 赵汝文 , 王恩哥
金属学报
利用反应性质频磁控溅射在Ｓｉ（１００）单晶衬底上沉积氮化碳薄膜, 并系统地了薄膜的结构, 成分及化学键等信息. Ｘ射线衍射分析表明, 制备的氮化碳薄膜具有非晶结构. 红外吸收谱说明薄膜中碳, 氮原子结构成化学键.
关键词: 氮化碳薄膜 , null , null , null
