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磁控反应溅射沉积CrN薄膜的抗氧化性研究

李钦虎 , 王军

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2005.06.015

通过磁控反应溅射在H1模具钢表面沉积了CrN薄膜.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)观察了试样的表面形貌,进行了物相分析,研究了CrN薄膜的抗氧化性能,讨论了膜层的抗氧化行为和机制.结果表明:在500℃以下,CrN膜层具有良好的抗氧化性,能大大提高基体的抗氧化性能.当温度超过600℃时,由于膜层产生剥落而失去使用性能.

关键词: 磁控溅射 , CrN薄膜 , 抗氧化性