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陈靖 , 王小平 , 李运钧 , 姚宁 , 马会中 , 张兵临
材料导报
采用离子注入工艺对YG6硬质合金表面进行处理,探讨了离子注入处理对硬质合金CVD金刚石涂层形成的影响.研究结果表明,Mo离子注入使硬质合金表面细化,金刚石涂层的粒度减小,改善了金刚石薄膜与合金衬底间的附着力.
关键词: 离子注入 , 硬质合金 , CVD金刚石薄膜 , 附着力
