李谋
,
李晓娜
,
林国强
,
张涛
,
董闯
,
闻立时
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2005.06.012
采用脉冲偏压电弧离子镀设备在高速钢基体上沉积Ti/TiN纳米多层硬质薄膜,通过仅改变偏压幅值的方法进行对比实验.XRD分析和薄膜断截面SEM形貌显示出薄膜的纳米多层组织结构;硬度测试表明纳米多层薄膜硬度随脉冲偏压升高而升高,在-900V时超过同等条件制备的TiN单层薄膜,硬度高达34.1GPa;分析表明硬度的提高主要与脉冲偏压工艺对薄膜组织的改善有关;用脉冲偏压电弧离子镀可以制备纳米多层硬质薄膜,并且在工艺控制上相对简单.
关键词:
脉冲偏压
,
电弧离子镀
,
Ti/TiN纳米多层
,
硬质薄膜
