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HgCdTe探测器应力的多重晶X射线衍射分析

孙涛 , 王庆学 , 陈文桥 , 梁晋穗 , 陈兴国 , 胡晓宁 , 李言谨 , 何力

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.007

HgCdTe光伏探测器的钝化介质膜应力常常限制其低温性能,利用高分辨率多重晶X射线衍射仪中的三重晶衍射技术和倒易空间作图对钝化介质膜应力进行了表征,发现在较高溅射能量下沉积的钝化膜,由于应力的作用,HgCdTe晶片出现弯曲,并有大量镶嵌结构,而在较低的溅射能量下和热蒸发下沉积的钝化膜,晶面未出现明显弯曲,可获得较低应力的钝化介质层.

关键词: HgCdTe , 应力 , 钝化 , 三重晶X射线衍射 , 倒易空间作图

CdTe介质膜与HgCdTe晶片间界面特性的研究

周咏东 , 赵军 , 李言谨 , 方家熊

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.02.022

利用Ar+束溅射沉积技术在HgCdTe表面低温生长了CdTe介质薄膜.分别用CdTe介质膜和HgCdTe自身阳极氧化膜对HgCdTe表面钝化.利用光电导衰退信号波形的拟合,得到了不同表面钝化的HgCdTe非平衡载流子表面复合速度.结果表明,CdTe/HgCdTe界面质量已超过自身阳极氧化膜/HgCdTe界面质量.

关键词: CdTe , Ar+ , 束溅射沉积 , HgCdTe , 光电导衰退 , 表面复合速度

ZnS薄膜的溅射沉积及其XPS研究

周咏东 , 方家熊 , 李言谨 , 龚海梅 , 汤定元

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.06.031

用Ar+束溅射沉积技术在HgCdTe表面实现了ZnS的低温沉积．用 X射线光电子能谱(XPS)对上述ZnS薄膜以及热蒸发ZnS薄膜中的Zn、S元素的化学环境进行了对比实验研究．实验表明：离子束溅射沉积ZnS薄膜具有很好的组份均匀性，未探测到元素Zn、S的沉积．

关键词: ZnS , 离子束溅射沉积 , XPS , HgCdTe , 表面抗反射膜

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