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用于低功耗微型磁通门的Co77Fe2.5Mn1.4Mo2.1Si13B4非晶薄膜研究

郭博 , 刘诗斌 , 杨尚林 , 李菊萍 , 侯晓伟

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.18.030

采用直流磁控溅射方法制备了一种适用于微型磁通门的 Co77 Fe2.5 Mn1.4 Mo2.1 Si13 B4非晶软磁铁芯薄膜，并对薄膜进行了200℃外加面内横向磁场的真空退火。利用振动样品磁强计(VSM)、X 射线扫描仪(XRD)以及扫描电子显微镜(SEM)测试了薄膜的磁滞回线、相组成、表面形貌并...

关键词: Co 基非晶薄膜 , 微型磁通门 , 磁控溅射 , 退火