陈松
,
耿永红
,
王传军
,
闻明
,
张俊敏
,
毕珺
,
李艳琼
,
谭志龙
,
张昆华
贵金属
目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材.重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题.
关键词:
金属材料
,
粉末冶金
,
CoCrPt
,
溅射靶材
,
熔铸法
,
质量控制
李艳琼
,
余巍
,
张俊敏
,
毕珺
,
谭志龙
,
王传军
,
潘勇
,
管伟明
,
闻明
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2011.04.006
采用化学氧化法在金属Ti表面制备出了多孔纳米TiO2,通过离子束溅射在TiO2表面沉积纳米Ag,最终在Ti表面制备出Ag/TiO2纳米复合材料.利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM),电子探针(EPMA)等分析手段分析了500℃热处理条件下,不同Ag含量对TiO2晶型转变的影响及结构变化.同时,采用细菌生长的抑菌圈法进行测试,研究了Ag/TiO2纳米复合材料对不同菌种的抗菌性能的影响.结果表明:通过化学氧化法和离子束溅射相结合的方法可以得到具有优异抗菌性能的Ag/TiO2纳米复合材料.
关键词:
复合材料
,
氧化钛
,
Ag纳米粒子
,
抗菌性能
张俊敏
,
闻明
,
谭志龙
,
王传军
,
沈月
,
易伟
,
管伟明
,
李艳琼
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.增刊(Ⅱ).025
WTi合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能,已被成功地应用于半导体器件的扩散阻挡层.迄今为止,中国大量半导体行业用靶材仍从国外进口.因此,通过研究靶材制备工艺及性能的关系,制备出高密度、高纯度、富钛相β1(Ti,W)少的 WTi合金靶材,不仅能够把握相关领域发展方向,并且具有十分可观的市场前景.本文用行星球磨的方式对Ti、W粉末进行预处理及混合,得到不同粒度组成的混合粉末,用真空热压法对粉末进行成型,制备得到的 WTi10合金.利用X射线衍射仪(XRD)、金相和扫描电子显微镜(SEM)分析混合粉末的粒度组成,并对合金的结构和形貌进行分析,采用排水法及ICP测试仪,分析合金的密度及杂质含量.结果表明,在温度1200℃,压力30 MPa的真空热压条件下,制备得到的4个样品均已形成体心立方β相的WTi固溶体.且混粉球磨时间对 WTi固溶体的峰位及峰强没有影响.但粉末混合球磨时间对热压后合金的微观组织形貌影响较大,随着混粉时间的延长,富钛相β1呈先减少后增加的趋势,混粉3 h的热压得到的样品黑色富 Ti固溶体相区域最少,性能最优,合金的密度均达到理论密度的99．48％,纯度＞99．97％.采用该方法制备得到的WTi10合金可用于磁控溅射制备 WTi扩散阻挡层.以上研究为真空热压法制备半导体行业用钨钛靶材的研究提供一定的基础研究数据.
关键词:
扩散阻挡层
,
WTi
,
真空热压
,
相组成
,
微观结构
张俊敏
,
管伟明
,
李艳琼
,
毕珺
,
谭志龙
,
王传军
,
张昆华
贵金属
以不同晶面的Si片作为基底,室温下,采用射频磁控溅射的方法制备得到Ru非磁性薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析薄膜的结构和形貌.研究不同基底材料对Ru中间层结构和形貌的影响.结果表明:以单晶Si(100)、Si(110)、Si(111)片作为基底制备的Ru薄膜均呈(002)晶面的择优取向生长；Ru-Si(100)、Ru-Si(110)和Ru-Si(111)薄膜表面均由细小的圆形晶粒组成.Si(111)面上生长的Ru薄膜表面颗粒尺寸最小,表面粗糙度最大,有利于磁记录层磁学性能的提高.
关键词:
金属材料
,
非磁性中间层
,
Ru薄膜
,
射频磁控溅射
闻明
,
姜东慧
,
陈志全
,
李艳琼
,
张俊敏
,
张昆华
,
管伟明
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2010.03.004
采用电镀铂加包埋渗铝的方法在镍基高温合金(GH586)上制备了铂铝(Pt-Al)涂层.采用扫描电镜(SEM)、X-射线衍射仪(XRD)等手段研究了Pt-Al涂层的结构和高温抗氧化性能.950℃氧化100 h结果表明, Pt-Al涂层具有优良的抗高温氧化性能,氧化后涂层最表面为NiPt,次表层为氧化层.同时,对基体中的添加元素如Mo、W、Ti等元素在氧化过程中的扩散进行了分析.
关键词:
复合材料
,
Ni基高温合金
,
Pt-Al涂层
,
抗氧化
,
扩散
闻明
,
管伟明
,
李艳琼
,
张俊敏
,
毕珺
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2010.02.006
首先采用化学氧化法在块体Ti表面制备出多孔纳米TiO2,随后通过离子溅射在TiO2表面沉积纳米Ag. 采用电子探针(EPMA)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等手段对TiO2在退火处理中的结构演变和晶化行为进行了研究.同时,研究了纳米Ag对TiO2的形貌、晶粒生长和相变的影响.
关键词:
复合材料
,
多孔TiO2
,
纳米Ag
,
结构
,
相变
闻明
,
李旸
,
李艳琼
,
张俊敏
,
管伟明
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2010.01.002
首先采用化学氧化在块体Ti表面制备出多孔纳米TiO_2,随后通过高能离子束轰击实现Ag纳米粒子在TiO_2表面的有效固定, 最终在Ti表面制备出Ag/TiO_2纳米复合材料.采用XRD、SEM及TEM手段对其进行了结构表征.结果表明,化学氧化法可制备出多孔纳米TiO_2,其晶粒尺寸为10 nm左右;通过调节高能Ar离子束轰击的时间,可对TiO_2晶粒尺寸进行小范围有效控制.
关键词:
复合材料
,
Ag纳米粒子
,
多孔TiO_2
王升高
,
李艳琼
,
赵修建
,
汪建华
,
韩建军
,
王涛
材料导报
电极的机械稳定性对电极电化学检测性能的长期稳定性非常重要.利用微波等离子体化学气相沉积法在玻璃基板上集成了纳米碳管电极,并利用该电极对溶液中的邻苯二酚进行了电化学检测.结果表明,经氧等离子体处理的纳米碳管电极具有良好的电化学检测性能,且由于该电极直接集成在玻璃基片上,良好的结构稳定性赋予该电极极为优异的重现性和长期稳定性.
关键词:
集成纳米碳管电极
,
微波等离子体化学气相沉积法
,
电化学检测
李艳琼
,
谭志龙
,
毕琚
,
张俊敏
,
闻明
贵金属
铱涂层具有良好的抗氧化性能、高的电导率、很强的催化活性以及很好的抗腐蚀性等.这使它在电学、抗氧化涂层、催化领域都有广泛的应用.文章阐述了高温抗氧化铱涂层材料的研究发展现状及其应用领域,介绍了其主要制备方法和存在的问题,并且预测了铱涂层将来的发展趋势.
关键词:
复合材料
,
铱
,
涂层
,
高温抗氧化
,
应用
张俊敏
,
闻明
,
李艳琼
,
毕珺
,
管伟明
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2011.01.006
用真空熔炼法制备得到的CoCrPt合金铸锭,采用不同淬火条件优化其相组成,采用1000℃保温50 min后热轧的工艺对其进行热加工;利用X射线衍射仪(XRD)、金相和扫描电子显微镜(SEM)分析合金的结构和形貌.结果表明:所制备的CoCrPt合金铸锭由高温相面心立方固溶体(αCo)和低温相密排六方固溶体(εCo)及氧化铬黑色颗粒3种物相组成,Cr和Pt在钴合金中主要以固溶的形式存在.淬火后的Co基合金中hcp相的体积比例明显提高.热轧后的合金也是由αaCo固溶体、εCo固溶体和氧化铬黑色颗粒3种物相组成.
关键词:
金属材料
,
磁记录介质
,
Co基合金
,
真空熔炼
