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AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用

陈光羽 , 何延如 , 雷志芳 , 谷士斌 , 赵冠超 , 杨荣 , 孟原 , 郭铁 , 李立伟

人工晶体学报

采用磁控溅射结合酸腐蚀法制备掺铝氧化锌透明导电氧化物薄膜,研究关键溅射工艺参数对AZO薄膜腐蚀后性能的影响.研究发现,在较低沉积温度和较大溅射压强条件下,样品腐蚀后可以形成粗糙度和雾度更大的表面形貌,有利于提高电池性能;而溅射功率增加,虽然能提升样品腐蚀后的粗糙度,但雾度的增加则呈现饱和趋势.将具有优良光电性能、不同雾度的AZO薄膜作为前电极制备非晶/微晶硅薄膜双结太阳能电池,发现雾度越大,电池的短路电流密度越大,特别是底电池电流密度越大,从而电池的光电转换效率也获得提高.这一发现有助于通过优化溅射工艺参数来改进AZO薄膜表面形貌和电池性能.

关键词: 掺铝氧化锌薄膜 , 磁控溅射 , 粗糙度 , 短路电流密度

外场对高分子体系作用影响的研究

上官勇刚 , 佟立芳 , 李立伟 , 郑强

功能材料

介绍了外场条件对聚合物材料影响的研究进展,阐述了温度场、力场和振荡场等几种主要外场对高聚物结构和性能的作用,评价了研究这类外场作用对高分子材料结构及制备影响的理论价值和工程意义,展望了聚合物材料外场影响研究的前景.

关键词: 外场作用 , 聚合物材料 , 结构与性能

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