邢建平
,
蔡成森
,
李娟
,
孟令国
,
李秀宇
,
高红
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.04.017
为改善气敏元件的性能 ,提高稳定性 ,采用粉末反溅研制了 SnO2/CeO2乙醇敏感材料 ,结果 表明:灵敏度在 CeO2掺杂范围 4%- 32%、膜厚 100- 180nm时较佳 ,特征时间τ与膜厚 l遵循 τ∝ l2规律 ,研制出乙醇灵敏度 20- 80、特征时间 < 15s的微型平面旁热式 SnO2气敏元件 ;元件 灵敏度测试存在一个 4.5- 10.5V相对稳定的测试电压区间 ,且在湿度影响下显著降低.
关键词:
反溅
,
薄膜
,
气敏元件
