刘京明
,
刘彤
,
杨俊
,
陶东言
,
段满龙
,
董志远
,
赵有文
,
李百泉
材料科学与工程学报
doi:10.14136/j.cnki.issn.1673-2812.2015.04.026
商品氮化铝粉料中含有高浓度的氧、碳及金属杂质,需经过高温提纯处理后才能用于物理气相法氮化铝晶体生长.与感应加热相比,钨网电阻加热可有效避免碳、氧等的二次沾污,势必具有良好的提纯效果.本文采用钨网炉对AlN原料进行高温烧结提纯处理,通过X射线能谱仪(EDS)、气体分析技术(IGA)和辉光放电质谱仪(GDMS)对烧结处理后AlN的杂质含量进行了测试分析,结果表明经钨网炉高温烧结处理后,AlN原料中杂质含量明显降低,其中的氧、碳去除效果显著.还进一步分析了杂质挥发、原料损耗随温度、时间变化的规律.
关键词:
氮化铝
,
钨网炉
,
杂质
,
提纯
