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稀土掺杂 ZnO 薄膜的研究进展

李瑛娟 , 陈清明 , 马吉

材料导报

综述了近年来国内外稀土掺杂ZnO薄膜的研究现状,总结了稀土掺杂的方式及稀土掺杂对ZnO薄膜的结构、光、电、磁学性能以及抗腐蚀性能的影响,并介绍了稀土掺杂ZnO薄膜在气敏传感器方面的应用,最后探讨了稀土掺杂ZnO薄膜存在的问题及今后可能的研究方向.

关键词: ZnO , 稀土掺杂 , 制备

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