管登高
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黄婉霞
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肖素芬
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蒋渝
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李洪武
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陈家钊
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涂铭旌
材料导报
对新型防护电磁波信息泄漏材料的研究现状进行了综述.重点介绍和评述了非晶材料、纳米材料、手性材料和稀土材料在电磁波信息泄漏防护材料中的研究进展.
关键词:
吸波材料
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非晶材料
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手性材料
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纳米材料
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稀土材料
肖晓玲
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洪瑞江
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林松盛
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李洪武
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侯惠君
材料科学与工程学报
本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,分别以石墨和甲烷气体为碳源,制备TiC/a-C多层膜.利用X-射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC/a-C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析.结果表明:所制备的两种TiC/a-C薄膜中,TiC的晶粒呈柱状生长;用溅射石墨靶方法获得的TiC/a-C薄膜,无明显的层状结构,a-C相为石墨化和非石墨化的碳原子构成,碳原子的有序化程度较大;而采用甲烷气体为碳源沉积的TiC/a-C薄膜,呈规则的分层结构,碳原子的有序化程度低.采用过渡层及添加适当的金属元素能改善膜/基的结合强度.
关键词:
TiC/a-C薄膜
,
非平衡磁控溅射
,
组织形态