刘梅冬
,
陈实
,
曾亦可
,
饶韫华
,
李楚容
,
陈磊
,
潘晓光
,
邓传益
功能材料
用改进的溶胶-凝胶旋转涂覆技术,在Pt/Ti/SIO/Si基片上研制出1-2μm厚,具有钙钛矿型结构的PbTiO、PLT和PZT铅基铁电薄膜.该类铁电薄膜具有良好的结晶特性、优异的介电和热释电性能.
关键词:
铁电薄膜
,
溶胶-凝胶技术
,
介电性
,
热释电性
刘梅冬
,
曾亦可
,
李楚容
,
饶韫华
,
王培英
,
邓传益
材料导报
研究出具有特色的制备铁电薄膜的sol-gel技术;制备出高质量、高可靠的PLT、PZT、PYZT、BST、PbTiO3、BaTiO3和bi4Ti3O12多晶铁电薄膜,PLT、PZT和BaTiO3异质外延生长铁电薄膜;研制出铁电薄膜热释电单元红外传感器,8元、9元、10元线列和8×8元阵列;研制出热释电火情探测器和热释电非接触式温度测试仪。
关键词:
铁电薄膜
,
sol-gel技术
,
红外传感器
,
火情探测器
,
温度测试仪