孙莉
,
范红玉
,
李梦轲
,
刘东平
,
杨德明
,
杨杞
,
牛金海
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.增刊(Ⅰ).014
在室温下,利用等离子体增强的化学气相沉积法(PECVD)在硅衬底上制备了非晶碳氢薄膜.采用100keV,剂量分别为1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016和1.0×1017 ions/cm2的He离子(He+)对非晶碳氢薄膜进行辐照实验.通过基于原子力显微镜(AFM)的纳米压痕和纳米划痕技术,对He+辐照前后碳氢薄膜的表面硬度进行分析.结果表明,经He+辐照后碳氢薄膜的表面硬度明显增加,并且随着He+辐照剂量增加,碳氢薄膜的表面硬度呈逐渐增加的趋势.傅里叶变换红外光谱(FT-IR)和拉曼光谱分析表明,He+辐照会导致碳氢薄膜中sp2C键含量明显增加,而sp3C键及H原子的含量明显降低,这可能是引起碳氢薄膜硬度变化的主要原因.
关键词:
非晶碳氢薄膜
,
辐照
,
硬度
,
纳米压痕
李燕
,
李梦轲
,
王成伟
,
力虎林
功能材料
采用低压化学气相沉积(CVD)技术在MgO载体中的Fe、Co等纳米催化颗粒上制备碳纳米管(CNTs),用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)及喇曼光谱仪(Raman)对生长的CNTs结构特性进行了分析研究,结果表明制备的样品中虽含多壁碳纳米管,但单壁碳纳米管(SWNTs)居多,直径约为0.6～2nm,分布均匀,且既包含金属型管,也包含半导体型管.低压MgO载体CVD制备技术,大大增加了等量Fe、Co等催化反应颗粒的比表面积和反应活性,制备的单壁管产额大、成本低、CNTs更易于提纯.
关键词:
低压化学气相沉积
,
单壁碳纳米管
,
MgO载体
,
纳米催化颗粒
