丁子成
,
李淑娟
,
李梓
,
崔丹
人工晶体学报
SiC单晶化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好,广泛用于大功率器件产业.但由于其材料的硬度很大,加工非常困难.脆性材料塑性域加工为提高该类材料的表面质量,降低加工时间和成本提供了有效的途径.本文采用不同刀具角度和刀尖圆弧半径的单点金刚石刀具对4H-SiC单晶进行刻划实验,利用声发射、摩擦力传感器来监测刻划过程中声发射信号强度以及摩擦力的变化,并通过Leica DCM3D以及SEM观察划痕沟槽表面形貌、切屑状态,综合分析以获得4H-SiC单晶在不同角度、刀尖圆弧半径下塑脆转变的临界切削深度.结果表明,增大刀具角度有利于塑性域加工;在相同条件下,刀尖圆弧半径越大,临界切削深度越大.
关键词:
SiC单晶
,
脆性材料
,
塑性域加工
,
临界切削深度
李梓
,
李淑娟
,
麻高领
兵器材料科学与工程
脆性材料以其特殊的电、化学、物理性能在电子、光学等产业得到广泛的应用，但由于其硬度高、脆性大，很难满足加工要求。塑性域加工作为目前一种行之有效的方式，得到了广泛研究。振动条件下的加工可以显著扩大塑性域范围，增加临界切削深度。对塑性域加工中的脆塑转变机理、振动条件下的加工过程进行运动学分析，并比较振动条件下加工与普通加工在表面粗糙度、刀具磨损、临界切削深度、最小切削深度方面的区别，最后分析了振动条件下塑性域加工需要满足的条件。
关键词:
脆性材料
,
塑性域加工
,
塑脆转变
,
临界切削深度
,
振动条件下的加工
