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紫外光刻法制备图案化聚合物纳米管/线阵列的研究

李培栋 , 李晓茹 , 宋国君 , 彭智 , 佘希林 , 李建江 , 孙瑾

功能材料

探讨了紫外光刻技术制备图案化聚合物纳米管/线阵列的方法,研究制备过程中的各种影响因素,并找到了最佳的实验条件.采用溶液浸润法,成功制备了不同图案的聚合物纳米结构阵列.溶液浓度为6%(质量分数),得到的是聚合物纳米管阵列;溶液浓度为10.0%(质量分数),得到的是聚合物纳米线阵列.

关键词: 紫外光刻技术 , 纳米管 , 纳米线 , AAO模板 , 图案化

图案化金属铜纳米线阵列的制备与表征

李晓茹 , 宋国君 , 彭智 , 李培栋 , 佘希林 , 李建江 , 孙瑾

功能材料

采用紫外线光刻技术与电化学沉积相结合的方法,成功制备了不同图案的铜纳米线阵列:一种是圆形图案;另一种是QDU图案.首先利用紫外线光刻技术在多孔阳极氧化铝模板(AAO)生成预设图案,以此作为"二次模板";再利用电化学方法将铜纳米线沉积到"二次模板"的开孔中.扫描电镜(SEM)测试结果表明,大面积、高规整的铜纳米线图案阵列各自独立地立在基底上, 同时,用电子能谱(EDS)分析了铜纳米线的化学成分.透射电镜(TEM)也探测到了铜纳米线的微结构.

关键词: 紫外光刻法 , AAO模板 , 图案 , 纳米线阵列 , 电沉积

恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板

邵增军 , 彭智 , 宋国君 , 李晓茹 , 王树龙

功能材料

采用紫外线光刻技术在铝片上生成预设图案,用恒流二次氧化法在图案化的铝片上生长AAO,以此模板制备了PS和Cu纳米线阵列.采用扫描电子显微镜(SEM)分析.结果表明,制备的图案是直径5μm的圆形组成,圆形图案中·心之间距离是10μm,每个圆中生长了均匀的AAO,孔径大约为60~80nm.

关键词: 紫外光 , 一维纳米结构 , 光刻胶 , 图案化模板

磁性金属纳米结构的制备与表征

李晓茹 , 宋国君 , 于永明 , 彭智 , 杨超 , 李培栋

材料导报

采用电化学沉积方法成功地制备了高度有序的镍纳米管/线阵列结构,并用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射(XRD)对产物的微观形貌和化学结构进行了表征和分析.测试结果显示,镍纳米结构阵列规整,镍纳米管壁具有多晶体结构;X射线衍射图谱表明,镍纳米管壁具有较高的结晶度.研究了沉积时间对镍纳米结构的影响.

关键词: 氧化铝模板 , 纳米管 , 纳米线 , 电化学沉积

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