张程浩
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狄杰建
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谭培培
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李明勇
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赵全亮
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谭晓兰
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王大伟
人工晶体学报
采用磁控溅射法在LaNiO3/Si衬底上制备了6％Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-94％ Pb(Zr0.52 Ti0.48) O3 (PMnN-PZT)铁电薄膜,对其微结构和铁电特性进行了研究.结果表明,该铁电薄膜呈(001)高度择优取向,取向度高达98％.经过1010次铁电循环测试,铁电薄膜无疲劳现象;在104 s时间内,薄膜的铁电保持和印记特性稳定,无明显退化.该结果说明LaNiO3氧化物电极会降低PMnN-PZT薄膜的氧空位浓度,有效地缓解了电荷注入的问题,因此改善了PMnN-PZT薄膜的铁电性能.
关键词:
锰铌锆钛酸铅
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镍酸镧
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铁电性能
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磁控溅射
