李文漪
,
李刚
,
蔡峋
,
孙彦平
,
赵君芙
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.03.004
本文利用LPCVD法水解四异丙醇钛(TTIP)制备TiO2薄膜,研究了制备过程中水解TTIP的反应动力学.通过对沉积温度和沉积率关系的研究,计算出TTIP水解反应表观活化能为59.85kJ/mol.沉积温度不仅影响反应速率,还对TiO2薄膜结构、表面形貌有决定性的作用.XRD和Raman分析表明:TRIP水解法制备TiO2薄膜,薄膜结构主要依赖于沉积温度.180℃～220℃沉积TiO2薄膜为非晶态,240℃～300℃沉积为锐钛矿和非晶态混杂结构.在水分压对TTIP水解反应影响的研究中发现,水分压为零时,TTIP发生热解反应,TiO2沉积率不为零,热解反应240℃无锐钛矿特征峰出现.这说明水解反应制备TiO2有利于降低锐钛矿的生长温度.氧分子的加入可以消除TiO2薄膜表面的"针孔".
关键词:
化学气相沉积
,
二氧化钛
,
水解
,
动力学
