彭志坚
,
苗赫濯
,
刘亮
,
齐龙浩
,
司文捷
,
李文治
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.034
回顾了多组分硬质薄膜的发展,指出了多组分薄膜低温淀积时相组成研究与预测存在的问题.对多组分硬质薄膜,包括类质同晶体系与多组分共熔体,低共熔体系、转熔体系、亚稳定固熔体与非晶固熔体,化合物,梯度薄膜,多相薄膜材料,多层薄膜和超晶格薄膜等可能的相组成与相关性质进行了讨论.对淀积速率与薄膜厚度,相组成与薄膜均质性,超晶格薄膜硬度与超晶格周期等的计算模型进行了评述.
关键词:
多组分薄膜
,
超硬薄膜
,
相组成
彭志坚
,
苗赫濯
,
王成彪
,
傅志强
,
李文治
稀有金属材料与工程
首次采用金属弧(MEVVA)源对氧化铝、氮化硅等陶瓷刀具进行了注入金属钛、锆和铬离子改性研究,确定了注入剂量与陶瓷刀具性能之间的关系.改性后陶瓷材料表观纳米硬度、杨氏模量和抗弯强度分别增加51%、41%和66$;最大残余应力为0.63 GPa.陶瓷刀具在最佳剂量下进行改性后,表面光洁平整,平均表面粗糙度低于50nm.刀具寿命比改性前提高2~12倍,其中Al2O3陶瓷刀具注入金属铬改性效果最佳.
关键词:
陶瓷
,
刀具
,
MEWA
,
表面改性