张定涛
,
李文彬
,
姚立红
,
郑云友
,
李伟
,
宋泳珍
,
袁明
,
张光明
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20132806.0860
为解决116.8 cm(46 in)广视角边缘场切换技术4mask面板生产中的阵列工艺中,发生的一种网点色斑缺陷,应用扫描电子显微镜、聚焦离子束、能谱仪、宏观微观观测仪和线宽测量仪等检测设备进行Mura及其结晶物成份分析,比较了TFT膜厚;进行了GI和PVX膜玻璃正反面1％HF酸腐蚀试验、下部电极温度升高10℃试验、工艺ash、n+刻蚀的后处理步骤和有源层BT试验.研究了沟道n+掺杂a-Si层的厚度对于Mura的影响.确定了Mura的发生源和影响因素,结果发现Mura形成机理,一为基板背部划伤,二为接触和不接触电极区域的温差异,三是刻蚀反应的生成物在有源层工艺黏附在基板背部,之后经过多层膜沉积、湿刻和干刻、剥离工艺后促使缺陷进一步放大.最后采用平板粗糙面下部电极、控制剩余a-Si厚度和升高温度的方法,消除了网点Mura,并使得整体Mura发生率降为0.08％.
关键词:
色斑
,
薄膜晶体管
,
非晶硅
,
缺陷分析
郑宇
,
王晓鸣
,
李文彬
,
李伟兵
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2009.01.011
为研究材料对串联爆炸成型弹丸(EFP)形成的影响,在理论分析的基础上,提出双层药型罩形成分离EFP的判据.利用数值仿真软件AUTODYN,研究串联EFP形成的力学现象.进行双层药型罩EFP形成的实验研究,得到串联EFP形成过程的X光照片.试验结果与仿真结果比较吻合.从试验和仿真结果看出,分离EFP的形成,不仅依赖于内、外罩材料的选择,还与药型罩的结构设计密切相关.
关键词:
双层药型罩
,
串联EFP
,
试验研究
,
数值仿真
,
材料
杨彩虹
,
韩怡卓
,
李文彬
,
王定珠
,
卢学栋
催化学报
在惰性气氛中将Ni/C催化剂进行不同温度的热处理,采用XPS,TPR,BET和XRD手段对其进行了表征.在加压和碘甲烷助催化剂的存在下考察了热处理温度和热处理次序对甲醇羰基化活性及醋酸收率的影响.结果表明,随着处理温度的升高,羰基化活性和产物收率明显提高,而热处理次序对反应性能影响甚微.热处理过程中活性炭促进了NiO还原为金属Ni,使得镍活性中心的数目明显增加,并且氧化炭负载的镍催化剂的孔结构变化有利于镍分散度的提高.
关键词:
甲醇
,
羰基化
,
醋酸
,
镍
,
活性炭
,
热处理
吕金钟
,
李文彬
金属学报
利用动态内耗方法测定了两种不同纯度Ta箔经电解充氢处理后在100—400K温度范围内的内耗值(Q~(-1)),并根据Gorsky原理计算了氢在Ta中的扩散系数。实验结果表明,在T>250K和T<180K的温度区间内氢的扩散系数D服从Arrhenius关系,同时计算了扩散常数D_0和激活能U。最后讨论了氢浓度和其它杂质对氢的扩散系数的影响。
关键词:
张定涛
,
李文彬
,
姚立红
,
郑云友
,
李伟
,
袁明
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142901.0007
为简化大尺寸液晶面板四次光刻法的刻蚀工艺、减少有毒气体使用、降低射频功率消耗,在2 200 mm×2 500 mm大尺寸玻璃上,采用正交实验设计,验证了功率、气压、反应气体和比例等参数对各刻蚀步骤刻蚀速率、均一性和选择比的影响关系,从而得到各膜层的最佳工艺条件.在Enhance Cathode Couple Plasma Mode(ECCP)刻蚀模式下,采用新刻蚀条件合并薄膜晶体管有源区非晶硅、光刻胶、湿刻后源极和漏极剩余金属钼以及沟道非晶硅层干法刻蚀.利用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜电学特性进行测试,结果显示,金属钼的刻蚀可以采用一次两步干法刻蚀,“2干2湿”刻蚀可以整合为“1干1湿”.整合后总刻蚀工艺时间减少16s,减少了氯气使用量和RF总功率.试验改进了均一性和刻蚀率,同时对于下底衬具有良好的选择比,保持了良好的形貌,为大批量“1干1湿”生产提供了依据.
关键词:
低耗
,
钼刻蚀
,
阴极耦合离子
,
试验设计
严慧积
,
李文彬
,
李欣欣
涂料工业
doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2012.09.002
以多聚磷酸与聚醚多元醇反应制备得到聚醚多元醇磷酸酯,利用聚醚多元醇磷酸酯对环氧基团的反应活性,研究其对环氧树脂-酸酐体系的增韧效果.通过力学性能、热性能以及扫描电镜等研究发现,聚醚多元醇磷酸酯可将与环氧树脂相容性差的聚环氧丙烷链段强制引入到环氧网络中,增强界面性能,具有较好的增韧效果.聚醚在环氧固化网络结构中析出,形成“海岛”结构,SEM测试显示随着磷酸酯化程度的不同,聚醚分相的“海岛”结构的程度和尺寸可以调控;当分散相保持一定的密度和尺寸时,才能达到最佳的增韧效果.同时结果显示,聚醚多元醇磷酸酯的加入基本不影响环氧树脂的力学性能和耐热性能.
关键词:
环氧树脂
,
聚醚多元醇磷酸酯
,
增韧
,
相分离
,
耐冲击性
