黄志荣
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李攀瑜
机械工程材料
常压下用金属有机化学气相沉积法（MOCVD），以仲丁醇铝（ATSB）为前驱体、氮气为载气在HP40钢表面制备了纳米氧化铝薄膜；用光学显微镜、扫描电子显微镜及能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等研究了沉积温度等参数对氧化铝薄膜沉积速率的影响，并对其形貌进行了观察。结果表明：随着沉积温度从503K升高到713K，薄膜沉积速率从0．1mg·cm^-2·h^-1叫增加到0．82mg·cm^-2·h^-1；当沉积温度在593-653K范围内，可获得晶粒尺寸为10-15nm的纳米氧化铝薄膜；反应的表观活化能随氮气与ATSB蒸气混合气流速增加而降低，不同的混合气流速有不同的反应级数，ATSB的反应级为0．7±0．02。
关键词:
金属有机化学气相沉积法
,
氧化铝
,
沉积速率
,
纳米薄膜
黄志荣
,
李攀瑜
机械工程材料
用复合电沉积法在不锈钢基体上制备铜-锡-PTFE自润滑复合镀层，并用扫描电子显微镜、能谱仪、摩擦磨损试验机等研究了十六烷基三甲基溴化胺（CTAB）及PTFE的加入量、电流密度、沉积温度等工艺参数对复合镀层组成和性能的影响。结果表明：镀层中PTFE的含量随镀液中CTAB及PTFE加入量增加而增大，当加入量分别达到0．3g·L^-1和36g·L^-1时PTEE的含量最大；随电流密度的增大，镀层中PTFE含量增加，超过3A·dm^-2后其含量下降；适宜的沉积温度为50-55℃；复合镀层显微硬度随镀层中PTFE含量增加而降低，当镀液中PTFE质量浓度为36g·L^-1时镀层摩擦因数最低，为0．09。
关键词:
电沉积
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Cu-Sn-PTFE复合镀层
,
自润滑
,
电流密度
