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磁控溅射法制备氮化碳薄膜的研究进展

陈春 , 刘军 , 毕凯 , 陈志刚 , 李忠学 , 张兴国

材料导报

简要评述了磁控溅射法制备氮化碳(CNx)薄膜的研究进展的现状,以及磁控溅射法制备氮化碳(CNx)薄膜过程中工艺参数对薄膜的结构和性能的影响,展望了氮化碳研究的发展趋势.

关键词: 磁控溅射 , 氮化碳 , 薄膜

Ni-Al2O3复合镀工艺及镀层性能的研究

李忠学 , 刘军

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2006.01.008

介绍了Ni-Al2O3耐磨复合镀的制备工艺,讨论了工艺参数对镀层质量的影响.研究表明,电流密度增大不利于提高镀层中纳米颗粒的含量,pH值增大会使复合含量降低,电镀时适当搅拌或适当改变搅拌方式可以使复合镀层中的纳米颗粒含量提高.Al2O3颗粒的加入能有效阻止镍晶粒的生长,且在颗粒附近复合镀层的硬度比镀纯镍成倍的提高,Al2O3颗粒越细小作用越明显.目的是提高不锈钢表面的耐磨性,制备的复合镀层耐磨性高于镀纯镍.确定了适宜的工艺范围:纳米粉体质量浓度为10~20 g/L,电镀时间10~15 min,电流密度1.5~2.0 A/dm2,pH值为4.0~5.0,机械搅拌速度120 r/min,超声波功率200 W,电镀温度45℃.

关键词: 复合电镀 , Ni-Al2O3复合耐磨镀层 , 显微硬度 , 耐磨性

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