材料期刊网

调制比对GDC/YSZ多层氧离子导体薄膜结构与电学性能的影响

孟昕 , 孟宪芹 , 姜雪宁 , 庞胜利 , 李向楠 , 张庆瑜

功能材料

采用反应射频磁控溅射技术在(0001)蓝宝石基片上制备了不同调制结构的(GDC/YSZ)12多层氧离子导体电解质薄膜.利用电子探针微区分析技术测得薄膜的摩尔质量比为m(Zr):m(Y)=5.73:1、m(Ce):m(Gd)=4.12:1;X射线衍射(XRD)与小角X射线反射(XRR)结果表明,GDC...

关键词: GDC/YSZ多层薄膜 , 结构 , 表面形貌 , 电学性质