张敏
,
田晶
,
张瑾
,
李凌智
,
柳清菊
材料导报
有机-无机杂化介孔薄膜能实现有机和无机组分的功能互补,具有良好的综合性能,成为近年来功能材料研究领域的熟点之一.综述了近年来有机-无机杂化介孔薄膜的制备方法、介孔的形成机理及控制和介孔薄膜的应用研究,指出了当前研究中存在的问题,展望了今后的发展趋势.
关键词:
有机-无机杂化
,
介孔薄膜
,
制备
,
机理
,
应用
王伟伟
,
张敏
,
李凌智
,
柳清菊
功能材料
随着微型机电系统及集成电路的发展,器件中大量使用了微米、纳米量级厚度的薄膜,对其导热系数测量的研究有助于器件的设计和热优化工作.综述了当前几种测量薄膜导热系数的主要方法及技术,分析了各自的优点及不足,并对其以后的发展趋势做了简要分析.
关键词:
薄膜
,
导热系数
,
测量
李凌智
,
张敏
,
张瑾
,
柳清菊
功能材料
SiO2介孔薄膜具有优良的绝热性能,在热学、光学、微电子等领域有广阔的应用前景,其介孔结构对降低薄膜的热导率有着十分重要的作用,对介孔薄膜热导率的计算模型及测量方法的研究仍在不断探索中.对SiO2介孔膜的隔热机理进行了概述,从理论方面综述了对热导率研究的一些基本方法,并对薄膜热传导的尺寸效应作了说明.
关键词:
SiO2介孔薄膜
,
隔热
,
微尺度传热
,
热导率
