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氧化镍薄膜气体传感器性能提升

李佳言 , 张金龙 , 戴昌贤 , 林秋丰 , 傅龙明

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.025

本文的目的在于优化甲醛气体传感器.微型甲醛气体传感器设计是以石英玻璃当作基材,白金(Pt)被当作微型加热器电阻来加热感测层,并以氧化镍(NiO)薄膜作为感测层.当环境内有甲醛气体存在时,NiO薄膜层上导电度会增加,因而导致感测层电阻值降低.此微传感器,膜厚为0.34μm,在300℃反应时间只需6秒,灵敏度可达13.5 kΩ/ppb,最低侦测限度可以量测到40 ppb. 而本研究中针对不同的甲醛气体浓度,分别添加金当其催化剂、玻璃基材上共溅镀氧化镍与氧化铝、并比较有无指叉电极、改变基材温度…等,以提升其氧化镍薄膜感测性能.

关键词: 甲醛 , 氧化镍薄膜 , 微传感器

使用三氧化钨薄膜之苯气体传感器

李佳言 , 张金龙 , 林秋丰 , 曾全佑 , 傅龙明

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.024

本文利用微机电(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)制程制作成三氧化钨薄膜苯气体传感器,其结构包含三氧化钨(WO3)感测层、白金(Pt)指叉式电极(包括加热及感测两部分).利用RF溅渡方式沉积出三氧化钨薄膜,再由退火处理来得到较多的孔洞结构来提升传感器的灵敏度,并使用蒸镀(E-beam)方式制作白金指叉式电极.再将微型传感器置于气体检测箱在200℃、250℃及300℃不同操作温度下观察苯浓度与感测层电阻值间的变化关系.

关键词: , 三氧化钨 , 磁控溅镀 , 微机电制程 , 气体传感器

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