岳芳
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黄婉霞
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施奇武
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邓贤进
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王成
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张敬雨
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李丹霞
稀有金属材料与工程
采用无机溶胶-凝胶法在二氧化硅基底上制备不同厚度的二氧化钒薄膜,通过X射线光电子能谱、X射线衍射和场发射扫描电子显微镜分析薄膜的化学组成和微观结构,并利用变温傅里叶变换红外光谱对薄膜在红外波段的相变性能进行检测.结果发现:薄膜均沿(110)晶面择优生长;随厚度增加,其结晶度提高,表面晶粒明显增大,大小分布越不均匀,并导致薄膜在红外波段的低温和高温透过率均降低,滞后温宽变窄,相变陡然性增强.
关键词:
二氧化钒薄膜
,
二氧化硅基底
,
溶胶凝胶
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微观结构
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相变性能
宋林伟
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黄婉霞
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张玉波
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徐元杰
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张阳
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李娜
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李丹霞
功能材料
以双氧水和V2O5粉末为前驱体制备出V2O5溶胶,然后在云母基底上成膜,通过后续热处理退火得到优异相变性能的VO2薄膜.采用SEM、XRD分析薄膜形貌和微观结构,利用FT-IR等检测薄膜的光学性质.实验表明,VO2薄膜在云母基底上沿(011)晶面择优取向生长,颗粒生长致密且大小分布均匀.薄膜具有优异的相变陡然性,相变温度及滞后温宽都较低.在红外波段,相变前后透过率及反射率变化都较大,对红外光调节性能较好；在可见光波段,薄膜在相变前后都具有较高可见光透过率.
关键词:
VO2薄膜
,
相变特性
,
溶胶-凝胶
,
双氧水
,
光学性质
