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Al2O3衬底MgB2超薄膜的研究

林智远 , 李东耀 , 张宇昊 , 冯庆荣

低温物理学报

我们利用混合物理化学气相沉积法(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为HPCVD)在(0001)Al2O3衬底上制备了系列干净的MgB2超薄膜,并通过R-T测量、SEM测量、M-T测量、XRD测量对它们进行了表征,探究了其超导电磁性能和薄膜的生长机制.其中的7.5nm厚的MgB2超薄膜为已报导的蓝宝石衬底上生长的性能最高的超薄膜.

关键词: MgB2超薄膜 , HPCVD法