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董杰 , 金相起 , 朴范求 , 金浩熙
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.06.009
为了提高薄膜晶体管液晶显示器的开口率,研究了在优化的钝化层沉积条件下的过孔尺寸.结果表明,随着钝化层沉积温度的升高,钝化层的刻蚀率在下降,过孔的尺寸变小.当钝化层沉积温度在360℃时,过孔尺寸为8.20 μm.
关键词: 钝化层 , 沉积温度 , 过孔尺寸
