朱绍将
,
刘翔
,
彭巨擘
,
严磊
,
张鹏翔
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2003.04.010
用脉冲激光溅射(PLD)法在LaAlO3(100)单晶衬底上制备了掺4.0 wt%Ag的超巨磁电阻材料La0.67Ca0.33MnO3薄膜.在氧气氛中经高温处理后薄膜显示了近室温的金属-绝缘体相变点(TMI≈300 K),与通常提高TMI的结果相比较,此工艺较好地保持了材料相变点区间的陡度,且电阻温度系数(TCR)在此区内仍达到8%.这为制造近室温磁敏感元件、自旋电子学器件、辐射热探测器等提供了重要材料.
关键词:
低维金属材料
,
超巨磁电阻
,
金属-绝缘体相变
,
电阻温度系数
彭巨擘
,
张鹏翔
,
陈大鹏
,
张虞澜
,
朱绍将
,
王茺
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.028
研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素.通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件,发现:1.硅板上各部分的温度不是均匀分布的;2.衬底放在硅板上时,衬底温度和硅板温度有很大的不同;3.在相同的硅板加热电流下,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化.不细致考虑上述因素时,脉冲激光沉积(PLD)镀膜的质量很难保证.
关键词:
PLD
,
硅板加热器
,
衬底
,
真空度
