周灵平
,
靳九成
,
李绍禄
,
颜永红
,
朱正华
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.005
用SEM方法观察分析了CVD金刚石薄膜表面的缺陷形貌和结构,直观的两种缺陷为孪晶和孔洞.孪晶反映了晶粒的不完整性,它的产生取决于气相中活性分子的浓度与生长表面活性位数目的比值,孪晶比率随碳源浓度升高和衬底温度的降低而增大;孔洞反映了膜的不致密性,其产生与膜生长速率和衬底表面初始成核密度切相关,孔洞密度随碳源浓度升高和衬底温度的升高而增大.
关键词:
金刚石薄膜
,
缺陷
,
化学气相沉积
,
孪晶
,
表面形貌
靳九成
,
朱正华
,
吴述尧
,
赵传国
,
陈焕中
金属学报
<正> GCr15钢制精密轴承三种典型产品,刚玉砂轮和石墨砂轮加工的B2007112(以下简称B2007112刚、B2007112石)及B3-707,在疲劳寿命、显微硬度、形貌质量等性能测试对比中,依次较优.赵传国及靳九成等曾发现性能较优
关键词:
