朱惠宗
,
冯金垣
功能材料与器件学报
在常温、加温和光照三种环境下,通过采用溶胶凝胶法在玻璃基片上制备成的混合掺杂Cu_TiO2和Fe_TiO2的SnO2薄膜在乙醇、丙酮两种气氛作用下进行气敏反应前后的光反射谱测试,研究薄膜的返回特性.研究分析表明,掺杂SnO2薄膜在常温返回特性不理想,在100℃加温3分钟和红外线光照10分钟后,掺杂SnO2薄膜测试光反射谱表明返回特性表现良好,能在较短时间和较宽波段内返回.
关键词:
溶胶凝胶法
,
掺杂SnO2薄膜
,
返回特性
邓焯泳
,
朱惠宗
,
冯金垣
功能材料与器件学报
采用溶胶凝胶法在玻璃基片上制备混合掺杂Cu_TiO2和Fe_TiO2的SnO2薄膜,常温下对不同掺杂浓度的薄膜在丙酮、乙醇两种气氛作用下进行气敏光学特性测试.研究分析表明,1％ Fe_TiO2_SnO2混合掺杂薄膜的乙醇特性灵敏度在较宽波段保持15％左右；5％ Cu_TiO2一SnO2混合掺杂薄膜的丙酮气敏特性最好,灵敏度最高可达23.9％.
关键词:
溶胶凝胶法
,
SnO2
,
气敏
,
光反射率
,
灵敏度
