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不同氧流量条件下ZnO纳米棒阵列的形成及机理分析

曹培江 , 解振宇 , 韩舜 , 柳文军 , 贾芳 , 曾玉祥 , 朱德亮 , 吕有明

材料导报

采用脉冲激光沉积结合化学气相沉积方法在p-Si(111)衬底上制备了呈直立生长的ZnO纳米棒阵列,并且研究了氧流量对ZnO纳米棒尺寸、结晶特性等性质的影响.研究结果表明,在没有氧气的环境下无法生长ZnO纳米棒;随氧流量减小,不同晶面上ZnO生长速率的不同导致ZnO纳米棒长度减小、直径变粗、结晶质量变差、纳米棒面密度减小.氧流量的减小使得ZnO纳米棒中的氧空位缺陷含量增加,导致位于约520 nm处的绿光峰增强.

关键词: ZnO纳米棒阵列 , 化学气相沉积 , 发光性能

氧气流量对MgxZn1-xO薄膜择优取向的影响

邵玉坤 , 韩舜 , 吕有明 , 曹培江 , 柳文军 , 曾玉祥 , 贾芳 , 朱德亮 , 马晓翠

人工晶体学报

利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响.结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向;在沉积压强8.0Pa时,随着氧气流量的增加,反应粒子的能量降低,不同取向晶粒的生长速率发生变化,导致MgZnO薄膜的生长取向由(200)择优取向转变为(111)择优取向.当氧气流量过大(70 sccm)时,由于氧气分子迁移能的提高,MgZnO薄膜呈现多个不同生长取向.

关键词: ZnO , MgZnO , 脉冲激光沉积 , 氧气流量

柔性衬底上AZO薄膜的附着力特性研究

曹培江 , 赖国霞 , 柳文军 , 贾芳 , 朱德亮 , 马晓翠 , 吕有明

材料导报

使用脉冲激光沉积( PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力.结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的ZnO六方相,可见光范围内光学透过率均大于85%;PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31.31mN和16.97mN,PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40.55mN.

关键词: ZnO薄膜 , 脉冲激光沉积 , 附着力

铁钝化多孔硅中的输运性质

朱德亮 , 陈乾旺 , 张裕恒

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2000.04.001

采用水热法制备了发光强度强且不衰减、峰位不蓝移的铁钝化多孔硅. 标准四引线法测得的电阻-温度结果表明杂质能级是输运的主宰者;电流-电压结果说明当有电流流过样品时会有明显的热效应. 考虑到金属电极和铁钝化多孔硅之间形成的肖特基势垒会对样品的输运性质产生影响,采用共平面的两引线法测量了铁钝化多孔硅样品在不同温度下的电流-电压特性,发现隧道模型可以很好地拟和这些结果. 这些研究结果指出作为未来的多孔硅光电集成器件,通过多孔硅的电流必须限定在一定的范围.

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