储向峰
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汤丽娟
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董永平
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乔红斌
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朱小华
稀有金属材料与工程
(锇有可能作为大规模集成电路铜互连扩散阻挡层新材料.)利用自制的抛光液对金属锇片进行抛光,研究在双氧水-磷酸体系抛光液中H2O2浓度和抛光液pH值对抛光速率的影响.结果表明,当抛光液中主要成分仅为氧化剂H2O2时,并不能在金属锇表面达到好的腐蚀效果.在磷酸体系抛光液中,H2O2能够通过促进阴极反应的进行从而增强抛光液对金属锇的化学作用；低浓度H2O2通过增强抛光液对金属锇的化学腐蚀能力,从而增加了抛光速率值:较高浓度H2O2的加入对抛光速率值影响较小.H3PO4能够在抛光液中起到抑制剂、pH调节剂和络合剂的作用.当抛光液pH值为4.0时,金属锇表面生成的钝化膜最致密.当pH值为4.0或5.0时,金属锇表面生成的钝化膜OCP值大于金属锇的OCP值,且此条件下的抛光速率值较高.
关键词:
化学机械抛光
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锇
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磷酸
,
极化曲线
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阻挡层材料
陈同云
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朱小华
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储向峰
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葛秀涛
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董永平
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叶明富
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11780
通过溶剂热法(无水乙醇)制备了Cu2+(0~6mol%)掺杂ZnO纳米棒粉体, 采用X射线衍射仪和扫描电镜对掺杂ZnO纳米粉体的晶体结构和微观形貌进行了表征. 研究了Cu2+掺杂比例、溶剂热反应温度及时间对材料气敏性能的影响; 考察ZnO(120℃, 10 h)和3mol% Cu2+掺杂ZnO(120℃, 10 h)粉体对应元件对甲醛、乙酸、甲苯、乙醇、丙酮、三甲胺等六种气体的气敏性能. 结果表明: 通过溶剂热法制备的ZnO粉体为纳米棒状结构, 棒长度和直径随Cu2+掺杂比例不同发生变化; 3mol% Cu2+掺杂ZnO(120℃, 10 h)样品对应元件对低浓度乙醇有很好的选择性, 在395℃工作温度下对1×10–3乙醇的灵敏度为380.5, 响应恢复时间分别为5 s和40 s, 对1×10–6乙醇的灵敏度可达4.2.
关键词:
ZnO; 纳米棒; 气敏性能
陈同云
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朱小华
,
储向峰
,
葛秀涛
,
董永平
,
叶明富
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11780
通过溶剂热法(无水乙醇)制备了Cu2+(0～6mol％)掺杂ZnO纳米棒粉体,采用X射线衍射仪和扫描电镜对掺杂ZnO纳米粉体的晶体结构和微观形貌进行了表征.研究了Cu2+掺杂比例、溶剂热反应温度及时间对材料气敏性能的影响;考察ZnO(120℃,10 h)和3mol％ Cu2+掺杂ZnO(120℃,10h)粉体对应元件对甲醛、乙酸、甲苯、乙醇、丙酮、三甲胺等六种气体的气敏性能.结果表明:通过溶剂热法制备的ZnO粉体为纳米棒状结构,棒长度和直径随Cu2+掺杂比例不同发生变化;3mo1％ Cu2+掺杂ZnO(120℃,10 h)样品对应元件对低浓度乙醇有很好的选择性,在395℃工作温度下对1×10-3乙醇的灵敏度为380,5,响应和脱附时间分别为5s和40 s,对1×10 6乙醇的灵敏度可达4.2.
关键词:
ZnO
,
纳米棒
,
气敏性能
范福庭
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朱小华
,
沈晓成
高分子材料科学与工程
以2,2'-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷(BAPP)、对苯二胺(PDA)和4,4’-联苯四甲酸二酐(BPDA)为原料,采用共聚法合成了聚酰胺酸(PAA)树脂；然后将PAA树脂涂布到电解铜箔表面上,在高纯氮气保护下进行热亚胺化处理,最后制备出一种表观平整、光滑的聚酰亚胺(PI)覆铜箔.研究了BAPP/PDA物质的量比、PAA树脂的预固化工艺和热亚胺化工艺以及收卷牵引力对PI性能的影响.结果表明,BAPP/PDA物质的量比为1.5/4.5,PAA树脂预固化时涂布速度为0.6 m/min、烘道长度为9m、烘道温度分布为110℃、140、170℃,PAA树脂热亚胺化工艺为200℃/1h、250℃/1h、320℃/2h和收卷牵引力为14kg～ 16kg时,所制备的PI覆铜箔性能较佳.
关键词:
聚酰胺酸树脂
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热亚胺化
,
氮气保护
,
聚酰亚胺覆铜箔
