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章炜巍 , 朱大中 , 沈相国
材料导报
ZnO薄膜中的本征点缺陷对材料的电学、发光性能有着至关重要的影响.目前,对本征点缺陷的研究是ZnO领域的一大热点,也是实现ZnO基光电器件的关键技术之一.本文结合最新研究,扼要综述了本征点缺陷的电荷特性、对本征ZnO为n型的作用机理、对p型ZnO制备的影响及点缺陷对薄膜绿光发光的贡献.
关键词: ZnO薄膜 , 本征点缺陷 , 本征n型 , p型ZnO , 绿光
