朱冉
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许伟伟
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翟计全
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吉争鸣
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孙国柱
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曹春海
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陈健
低温物理学报
超导量子比特是目前最有竞争力的量子比特之一，本文讨论了影响量子比特电路性能的主要参数，分析了超导量子干涉仪（SQUID）的势能函数形状及势垒高度与势阱中所包含的能级数目的关系，由此给出了实现磁通超导量子比特相应的电路框图及主要参数的设计值．针对悬空掩膜斜蒸发制Al／Al2O3／Al隧道结工艺，设计了光刻版图．
关键词:
超导磁通量子比特
,
SQUID
,
Al
,
Al2O3
,
A1隧道结
翟计全
,
常俊杰
,
许伟伟
,
朱冉
,
吉争鸣
,
陈健
低温物理学报
超导Josephson隧道结是实现超导量子比特的基本元件．本文介绍了一种利用电子束曝光技术和电子束斜蒸发技术相结合的方法来制备铝超导Josephson隧道结．这种方法工艺简单，通过一次光刻就可完成；而且可以通过调节下层光刻胶厚度、斜蒸发角度、悬空桥区宽度等参数可以有效地控制隧道结的面积大小；此外，本方法通过采用不对称电极结构有效地改善了隧道结的漏电流特性，满足了制备超导量子比特的要求．
关键词:
Al/Al2O3/Al隧道结
,
双层光刻胶
,
悬空掩膜结构
,
斜蒸发
