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氧沉淀对直拉硅单晶硬度的影响

曾徵丹 , 马向阳 , 陈加和 , 杨德仁

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2009.05.031

研究了氧沉淀对直拉(CZ)硅单晶维氏硬度的影响.研究表明,在发生一定程度氧沉淀的情况下,硅单晶的硬度会由于氧沉淀导致的间隙氧浓度的降低而减小,此时间隙氧原子的固溶强化作用对硅单晶硬度具有显著的影响;而当氧沉淀足够显著时,由于氧沉淀的密度和尺寸较大,氧沉淀在硅单晶中的第二相强化作用得以显现,此时硅单晶...

关键词: 单晶硅 , 氧沉淀 , 维氏硬度