曹逊
,
李效民
,
于伟东
,
张亦文
无机材料学报
采用脉冲激光沉积法(PLD),以Pt(111)/Ti/SiO2/Si为衬底,制备了具有电阻转变特性的TiO2薄膜.X射线衍射(XRD)分析未发现明显的TiO2结晶峰,薄膜呈纳米晶或非晶态.扫描电子显微镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)分析表明,TiO2薄膜表面平整、光滑致密.电学测试结果表明,Ti...
关键词:
脉冲激光沉积法
,
单极性
,
电阻转变特性
,
TiO2薄膜
刘新军
,
李效民
,
王群
,
杨蕊
,
曹逊
,
陈立东
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00151
以Pt/Ti/SiO_2/Si为衬底,制备了具有电阻转变特性的Ti/La_(0.7)Ca_(0.3) MnO<3>(LCMO)/Pt结构器件.X射线衍射分析表明LCMO薄膜呈纳米晶或非晶态,扫描电子显微镜及原子力显微镜分析表明LCMO薄膜表面平整、光滑致密.电学测试结果表明Ti/LCMO...
关键词:
脉冲激光沉积法
,
电阻开关
,
电脉冲诱发电阻转变
,
锰氧化物薄膜
