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ZnGeP2晶体轴向成分均匀性的XPS分析

陈成 , 朱世富 , 赵北君 , 陈宝军 , 何知宇 , 杨登辉 , 曹礼强 , 刘伟

人工晶体学报

通过改进ZnGeP2晶体的合成和生长工艺,获得了尺寸为φ24 mm×60 mm的ZnGeP2单晶体.采用X射线光电子能谱(XPS)对生长出的晶体轴向成分进行了分析.结果表明,晶体在籽晶、放肩和主体部分成分一致,在尾部存在X射线衍射(XRD)未能检测出的极少量的P和Ge的氧化物,说明生长出的ZnGeP2单晶体的轴向成分比较均匀.红外透过率测试显示,晶体的轴向各部分在3 ~8 μm波长范围内透过率均在56%以上,而尾部在近红外波段(1.3~2.6 μm)的吸收明显要高于其他各部分.

关键词: 磷锗锌 , 轴向成分 , 均匀性 , 透过率

磷锗锌晶体的热处理研究

张建强 , 赵北君 , 朱世富 , 陈宝军 , 何知宇 , 王志超 , 杨登辉 , 曹新玲 , 曹礼强

人工晶体学报

采用改进垂直布里奇曼法生长出的磷锗锌(ZnGeP2,ZGP)晶体中存在各种缺陷,导致其红外透过率较低,刚生长的晶体不能直接用于制备红外非线性光学器件.分别采用真空、同成分粉末包裹和真空-同成分粉末包裹的复合退火工艺对生长的ZGP晶体进行了退火热处理研究.应用傅立叶红外光谱仪(FTIR)、高阻仪(HRM)、X射线能谱仪(EDS)等对退火前后的晶体性能和成分进行了测试分析.结果表明,三种方法退火后晶体的红外透过率和电阻率都得到改善,其中复合退火工艺的改善效果最为显著,晶体红外透过率由41%提高到60%,电阻率由2.5×108 Ω·cm提高到7.2 ×108 Ω·cm,晶体成分接近ZGP理想化学配比,退火后晶体的光学和电学性能得到显著改善,可用于ZGP-OPO器件制作.

关键词: 磷锗锌晶体 , 退火 , 红外透过率 , 电阻率

垂直布里奇曼法生长磷锗锌单晶体与性能表征

杨登辉 , 赵北君 , 朱世富 , 陈宝军 , 何知宇 , 曹礼强 , 陈成 , 谢虎

稀有金属材料与工程

采用改进的垂直布里奇曼法在自制的三温区炉内生长出尺寸达φ24 mm×70 mm的磷锗锌(ZnGeP2,ZGP)单晶体,将晶体在600℃下于同成分粉末包裹中进行了500 h退火热处理.采用X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光仪(XRF)以及傅里叶红外光谱仪(FTIR)对ZGP晶体结构、成分和光学性能进行了测试和分析表征.加工制作出ZGP光参量振荡器(ZGP-OPO),采用2.1 μm、7kHz激光泵浦ZGP-OPO,实现了3~5 μm中红外调谐激光输出,功率达0.48 W.上述结果表明所研制的ZGP晶体结构完整,品质高,能够用于制作非线性光学元器件应用.

关键词: ZnGeP2 , 单晶生长 , XRD , IR透过谱 , ZGP-OPO

磷锗锌晶体器件定向加工研究

杨登辉 , 赵北君 , 朱世富 , 陈宝军 , 何知宇 , 曹礼强 , 陈成

人工晶体学报

研究报道了坩埚下降法自发成核生长的ZnGeP2(ZGP)晶体光学器件定向加工新方法.即首先结合晶体的易解理面((112)面、(101)面)和标准极图以及X射线衍射仪,快速寻找c轴方向,确定晶体的(001)面;再由相位匹配角、方位角以及(101)和(102)晶面确定ZGP晶体的通光面,定向切割加工得到ZGP光参量振荡(OPO)器件初坯,经X射线衍射仪修正角度和后续抛光镀膜处理,制备出11 mm×11 mm×22 mm的ZGP-OPO器件.采用2.1μm、7 kHz激光泵浦ZGP-OPO,实现了3~5 μm中红外调谐激光输出,功率达0.48 W.此方法不仅适用于ZGP晶体的定向加工,也适用于具有类似结构的其他晶体器件定向加工.

关键词: 磷锗锌 , 相位匹配 , 定向加工 , 标准极图 , X射线衍射谱

改良西门子法多晶硅产品质量分析

曹礼强 , 赵北君 , 刘林

人工晶体学报

以工业硅为原料采用改良西门子法生产出质量优良的多晶硅,分别采用ICP-MS、低温傅立叶变换红外光谱、硅多晶气氛区熔基P检验法和真空区熔基B检验法等,对三氯氢硅中的杂质和多晶硅产物中的P、B、C、O含量及其P、B电阻率进行了检测,报道了改良西门子法获得的优质多晶硅产品质量检测数据;对影响多晶硅产物质量的各种因素,包括原料混合气进料量变化,还原炉内生长温度,生长过程中AEG电气的电压、电流变化,以及中间产品精制三氯氢硅、氢气的质量等进行了分析讨论.研究结果对于稳定生长高质量多晶硅具有重要参考价值.

关键词: 改良西门子法 , 三氯氢硅 , 多晶硅 , 产品质量分析

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