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基于原子层沉积的Al2O3薄膜微观形貌研究

王琛英 , 杨树明 , 李常胜 , 景蔚萱 , 林启敬 , 蒋庄德 , 张易军

稀有金属材料与工程

研究利用原子层沉积获得的小于10 nm Al2O3薄膜表面形貌特点.采用该技术获得4和8 nm的Al2O3薄膜,利用原子力扫描电镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对薄膜表面形貌进行测量,通过最小二乘法和多重分形研究薄膜表面形貌,分析得出利用原子层沉积技术加工超薄Al2O3薄膜,其形貌与成膜原理有关,与厚度无关.

关键词: 原子层淀积 , Al2O3 , 多重分形

Au微球阵列跨尺度葡萄糖传感器的制备

景蔚萱 , 齐含 , 成妍妍 , 蒋庄德 , 陈路加 , 周帆 , 王兵

稀有金属材料与工程

以硅基底和光纤纤芯阵列为定位夹具,手工排列熔凝法得到的Au微球,获得3×3 Au微球阵列;在Au微球表面先用水浴法合成ZnO纳米线、后固定葡萄糖氧化酶,得到球形跨尺度阵列葡萄糖酶电极.对球形跨尺度结构的表面形貌、葡萄糖氧化酶的固定效果、酶电极的电化学性能进行了定量表征.球形跨尺度结构阵列葡萄糖传感器的线性范围为0~2.5mmoFL、灵敏度为17.24 μA·(mmol/L)-1·cm-2、最低检出限为3.44 μmol/L、Michaelis-Menten常数为1.85 mmol/L.

关键词: Au微球 , ZnO纳米线 , 跨尺度结构 , 水浴法 , 葡萄糖传感器

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