晏海英
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姚树寅
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吴仲岿
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陈红
材料导报
利用波长为172nm的真空紫外光刻蚀技术(Vacuum ultraviolet lithography,VUV)对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的表面进行了图案化微加工,并采用扫描电镜和原子力显微镜对微图案化的PMMA膜的表面形貌进行了表征.此外,还通过跟踪测试真空紫外光照后PMMA膜表面随时间变化的水接触角研究了表面的亲疏水性.结果表明,利用该方法可以成功地在PMMA基材上一次性制备出保真度较好的亚微米级微流道,而且使微流道内表面具有稳定持久的亲水性.
关键词:
微流道
,
图案化
,
真空紫外光刻
,
亲水性
姚树寅
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晏海英
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吴仲岿
,
陈红
材料科学与工程学报
随着微加工技术的发展,在材料表面构筑功能化的纳微米级图案越来越成为关注的热点.在生物科学领域,光刻蚀、微接触印刷和蘸笔纳米平板印刷等微图案技术被广泛应用并实现了生物分子在几十纳米微区域上的固定.生物分子在微纳米区域内的成功固定大大推动了生物微分析、生物芯片、生物微器件等生物技术及相关领域的发展.本文从分析生物分子与材料表面的相互作用入手,较为系统地评述了构筑生物分子微图案的几种重要方法,并对生物分子微图案技术的发展做了展望.
关键词:
生物分子微图案
,
光刻蚀
,
微接触印刷
,
蘸笔纳米平板印刷技术
