程晓蕾
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刘志
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施焕儒
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简建明
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徐杨
材料热处理学报
采用射频磁控溅射和退火处理的方法在单晶硅衬底上制备了ZnO／SiO：复合薄膜，利用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、能谱分析（EDS）和接触角测量等测试手段研究溅射气压、溅射功率、氧氩比和退火温度等对复合薄膜成分组成、组织结构及润湿性能的影响。研究表明，复合薄膜中主要有ZnO、SiO：、Zn：SiO。3种物相，且分别以六方纤锌矿结构、无定形态和硅锌矿型等形式存在。随着溅射和退火工艺的改变，复合薄膜的接触角在41°～146°问变化，组织形态由颗粒状向纳米竹叶状变化。溅射气压0．5Pa，溅射功率120W，氧氩比（O2：Ar）为0：30，退火温度为700℃的条件下获得具有六方纤锌矿结构的ZnO纳米组织，该组织呈现出竹叶状，在薄膜表面交错排列形成了无序多空隙的微观形貌，使复合薄膜具有超疏水性，接触角为146°。
关键词:
磁控溅射
,
退火
,
ZnO/SiO2
,
复合薄膜
,
润湿性
马世榜
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夏振伟
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徐杨
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施焕儒
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王旭
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郑越
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2016.001215
采用预置粉末法在45钢表面进行激光熔覆镍基Ni60A+x%(SiC+Ti)(质量分数,下同)复合粉末涂层的实验研究.使用往复式磨损试验机对不同涂层材料的熔覆层进行干摩擦磨损实验,利用金相显微镜、扫描电镜(SEM)观察和分析熔覆层的显微组织与磨损形貌.结果表明:复合粉末通过原位反应生成弥散分布的TiC颗粒增强复合涂层,随着(SiC+Ti)含量的增加,颗粒状TiC的尺寸和数目逐渐增加;复合粉(SiC+Ti)含量达到60%时,微观组织有气孔和夹杂缺陷;复合粉(SiC+Ti)含量为48%时,熔覆层耐磨性最佳;复合涂层的磨损主要为磨粒磨损,机理为微观切削和挤压剥落.
关键词:
激光熔覆
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原位自生
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TiC
,
耐磨性
,
强化机理
